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      1. 螺桿泵

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        螺桿泵知識

        低壓擴散爐用普蘭德隔膜泵維護保養手冊

        1. 總則

        1.1 適用范圍

        本規程適用于在低壓擴散爐上的普蘭德耐腐蝕變頻隔膜泵MD 4C NT VARIO的維護和檢修。

        10個月維護一次。

        無錫華源晶電科技有限公司提供普蘭德新泵產品銷售,維護保養,相關備品備件服務。

        我司提供的新泵質保12個月,舊泵維修質保8個月。

        1.2 ?結構簡述

        MD 4C NT VARIO有真空主泵和真空控制器兩部分組成。具體部件見下圖:

        1.3 設備性能

        設備性能見下表:

        1.4 設備及環境

        * 如果抽取潛在爆炸性氣氛:50

        o

        F 至 104

        o

        F (+10

        o

        C 至 +40

        o

        C)

        2. 設備維護

        2.1 日常維護

        2.2 定期檢查內容

        2.3 常見故障處理方法

        3. 維護周期和維護內容

        3.1 維護周期

        3.2 維護內容

        4. 維護安全注意事項

        在開始維護之前,請閱讀此章節“更換隔膜和閥門的方法”

        圖片可能是其他版本的泵。更換隔膜和閥門的方法是一樣的。

        如果外殼或者泵的其他部件被拆解了,絕對不能再運行該泵。

        *在開始維護前,將泵的電源斷開,等待兩分鐘,使電容器放電。

        *確保泵不會意外開啟。

        *注意:泵可能被操作過程中抽取的化學物質污染。確保泵在維修前已清理。

        *避免釋放出污染物。

        不可運行一個有缺陷或者已損壞的真空泵。

        ·?采取足夠的防護措施保護人員免受污染物的危害(如果泵已被危險物質污染)。確保維護工程師熟悉真空系統相關產品的安全程序。

        當要接觸被污染的組件時,穿戴適當的防護服。

        在開始維護前,將泵放氣并將其與真空系統隔離。

        確保只有培訓好的、有經驗的技師來進行維護。

        閥片和隔膜是易耗品。如果額定的極限真空不能在達到,或噪音值增高,必須清理泵的內部,隔膜和閥片,需檢查隔膜或閥片是否有開裂或損壞。

        所有的軸承都被包覆的并注入長壽命潤滑劑。在正常的操作條件下,泵免維護。

        -?防止內部產生冷凝,不能傳輸液體或粉體。如果抽入的液體量很大,可能會使隔膜或閥片破損。

        -?如果泵接觸腐蝕性介質或如果有沉淀,需要經常進行維護。

        -?定期的維護可以延長泵的使用壽命,同時保護人員和環境。

        5. 維護方法

        5.1 維護工具

        所需工具(公制的):

        -?英制螺絲刀TX 20

        -?5號六角扳手

        -?扁口螺絲刀2.5mm

        -?平口鉗子

        5.2 維護注意事項

        隔膜的更換和閥片的更換可以分別進行。

        換閥片時,將泵側的泵頭蓋卸下,將閥門蓋和配件拆下維護

        在維護隔膜時,閥門蓋和配件不需要拆開。泵頭蓋可以和鏈接的組合的閥門蓋和配件一起被拆下。

        一次進維護泵的一邊。

        5.3 真空泵連接件和管路示意圖

        5.4 泵頭部件拆解圖

        5.5 更換隔膜

        5.6 更換閥門

        公司簡介

        無錫華源晶電科技有限公司是一家光伏設備及綠色能源產業專用設備供應商,集開發、生產、銷售為一體的專業光伏工藝設備生產制造廠家,本公司現有30多名技術人員均具有多年從事光伏、半導體裝備的專業設計制造經驗。

        無錫華源晶電科技有限公司目前主營業務為制造銷售1600片大產能管式低壓擴散爐、PECVD背鈍化設備,N-TOPCon高效電池薄氧化工藝設備與LPCVD工藝設備;同時有低壓擴散改造項目,管式PE升級PERC項目。

        無錫華源晶電科技有限公司技術力量雄厚,各類專業技術人員齊全,具有自主研發、設計和生產各種產品的能力。公司以“致力于熱能技術、熱能工程;提供一流的解決方案”為企業核心使命,為攜手振興中國制造事業而貢獻力量。

        無錫華源晶電科技有限公司制造生產的1600片低壓磷擴散設備

        技術優勢

        ?(1)低壓磷擴散設備,高片內,片間和批次間均勻性,滿足SE工藝;

        (2)超過260管低壓擴散制造經驗,接近30家低壓擴散合作客戶

        (3)高產能,1600片/管,5管/臺,單臺產能6000片每小時

        (4)設備中國制造生產,制造工廠位于江蘇無錫,提供及時可靠的客戶技術服務;

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